Hochvakuumpumpenpumpe (250mm Serie)
Produktbeschreibung
Material: Edelstahl Ventilkörper Typ: Schmetterling Flüssig Medien: Viton Theorie: Vakuumpumpe Typ: Klinge Pumpe Herkunft: Shanghai, China Leistung: Elektrisch Funktion: Intelligent Typ Leistung: Korrosion Struktur: Einstufige Pumpe Marke: SUOTO HS Code: 8414100090 Die Turbomolekularpumpe ist eine mechanische Vakuumpumpe mit einem Rotor aus einer schnell rotierenden Turbinenschaufel, einer schraubenförmigen Nut oder einer Kombination der beiden & Periode; Die Gasmoleküle treten in die Turbo-Molekülpumpe ein und kollidieren mit der Oberfläche der Rotoren, die kinetische Energie erzeugen, wodurch die Gasmoleküle in Richtung der turbomolekularen Pumpenabgas- und -periode bewegt werden;
Die Pumpen bieten einen vollen Magnetschwebe-Rotor, der für die heutige Halbleiter- und Solarindustrie & Periode ein sauberes, zuverlässiges Vakuum bietet. Es verfügt über eine Fünf-Achs-Magnetlager und Half-Rack-Controller erfordert keine Abstimmung oder Batterie-Backup, hohe Kompression und Korrosionsbeständigkeit & Zeitraum;
Die Pumpen bieten einen vollen Magnetschwebe-Rotor, der für die heutige Halbleiter- und Solarindustrie & Periode ein sauberes, zuverlässiges Vakuum bietet. Es verfügt über eine Fünf-Achs-Magnetlager und Half-Rack-Controller erfordert keine Abstimmung oder Batterie-Backup, hohe Kompression und Korrosionsbeständigkeit & Zeitraum;
Model | F-250/1500 | FF-250/1600 | F-250/1800 |
Capacity(l/s) | 1500 | 1600 | 1800 |
H2 Compression Ratio | 3× 10 3 | 3× 10 3 | 3× 10 3 |
N2 Compression Ratio | 1× 10 8 | 1× 10 8 | 1× 10 8 |
Ultimate Pressure(Pa) | ≤ 6× 10 -6 | ≤ 1× 10 -6 | ≤ 1× 10 -6 |
Rotation Speed(RPM) | 21000 | 27000 | 27000 |
Run up time(min) | < 8 | < 8 | < 8 |
Outlet Flange | KF50(DN50 ISO-KF) | KF50(DN50 ISO-KF) | KF40(DN40 ISO-KF) |
Inlet Flange | LF250(DN250 ISO-K) | LF250(DN250 ISO-K) | LF250(DN250 ISO-K) |
Bearing | standard | Ceramic bearing | Ceramic bearing |
Backing pump(l/s) | 15 | 15 | 15 |
Cooling water(º C) | ≤ 25 | ≤ 25 | ≤ 25 |
Heating T(º C) | ≤ 100 | ≤ 100 | ≤ 100 |
Ambient T(º C) | 5~40 | 5~40 | 5~40 |
Oil filled(ml) | 150 | 150 | Grease lubricated |
Install Orientation | vertical± 5° | vertical± 5º | any |
Weight(kg) | 60 | 47 | 42 |
Produktgruppe : Vakuumpumpen
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